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वीसीआर 1/2" इंटरफेस के साथ 5 माइक्रोन स्टेनलेस स्टील पाउडर फ़िल्टर कार्ट्रिज
आकार: φ40*196.3 मिमी
फ़िल्टर परिशुद्धता: 5 माइक्रोन
इंटरफ़ेस: वीसीआर1/2"
वीसीआर 1/2" इंटरफेस के साथ स्टेनलेस स्टील पाउडर फिल्टर कार्ट्रिज सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण घटक हैं, जो विशेष रूप से उच्च शुद्धता वाली गैस वितरण प्रणालियों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। ये फिल्टर कार्ट्रिज सटीक निस्पंदन प्राप्त करने के लिए उन्नत धातु पाउडर सिंटरिंग तकनीक का उपयोग करते हैं, जो 5 माइक्रोन तक छोटे कणों को प्रभावी ढंग से कैप्चर करते हैं। यह अल्ट्रा-स्वच्छ प्रक्रिया गैसों की डिलीवरी सुनिश्चित करता है, जो संवेदनशील सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं की अखंडता को बनाए रखने के लिए आवश्यक हैं। वीसीआर 1/2" इंटरफ़ेस एक प्रदान करता है रिसावरोधी धातु{{11}से-धातु सील, अर्धचालक वातावरण की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करती है जहां सूक्ष्म गैस अशुद्धियां भी माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में महत्वपूर्ण दोष पैदा कर सकती हैं। संक्षारण प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील से बना उनका मजबूत निर्माण अत्यधिक परिस्थितियों में स्थायित्व और दीर्घकालिक विश्वसनीयता की गारंटी देता है।
सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में, ये फ़िल्टर कार्ट्रिज डाउनस्ट्रीम उपकरण जैसे द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रकों और सटीक वाल्वों को कण संदूषण से बचाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। मौजूदा उच्च शुद्धता वाली गैस लाइनों में निर्बाध रूप से एकीकृत होकर, वे सिस्टम डाउनटाइम को कम करते हुए स्थापना और रखरखाव को सरल बनाते हैं। उच्च निस्पंदन दक्षता, असाधारण रासायनिक प्रतिरोध और विश्वसनीय सीलिंग का संयोजन उन्हें उन्नत अर्धचालक उत्पादन सुविधाओं में लगातार गैस शुद्धता और परिचालन दक्षता सुनिश्चित करने के लिए अपरिहार्य बनाता है।
उत्पाद विशिष्टताएँ

सामग्री: 316L पाउडर
आकार: φ40*196.3 मिमी
फ़िल्टर परिशुद्धता: 5 माइक्रोन
इंटरफ़ेस: वीसीआर1/2"
तकनीकी: सिंटरिंग
उत्पाद सुविधाएँ

1. अति-उच्च शुद्धता और कण प्रतिधारण
- सिंटर्ड स्टेनलेस स्टील संरचना (आमतौर पर 316एल) बिना किसी बाइंडर, चिपकने वाले या कार्बनिक अवशेषों के एक स्वच्छ, पूर्ण-धातु निस्पंदन माध्यम प्रदान करती है।
- 0.5 माइक्रोन तक उप-माइक्रोन कण प्रतिधारण में सक्षम, सूक्ष्म-संदूषण को प्रक्रिया कक्षों या वेफर्स तक पहुंचने से रोकता है।
- कोई कण बहाव नहीं, दीर्घकालिक उपयोग पर स्थिर कण गिनती सुनिश्चित करना।
2. मजबूत यांत्रिक और थर्मल स्थिरता
- पूर्ण-धातु डिज़ाइन उच्च दबाव, उच्च तापमान और बार-बार थर्मल चक्र का सामना करता है।
गैस वितरण प्रणालियों में सामान्य कंपन, रिवर्स फ्लो या दबाव स्पंदन जैसी स्थितियों के तहत यांत्रिक अखंडता बनाए रखता है।
- उच्च तापमान वाली गैस लाइनों के लिए हीट ट्रेसिंग के साथ संगत।

3. पुनः साफ करने योग्य और पुन: प्रयोज्य
- फ़िल्टर तत्वों को बैक-फ्लश किया जा सकता है, अल्ट्रासोनिक रूप से साफ किया जा सकता है, या वैक्यूम में बेक किया जा सकता है, जिससे पॉलिमर या सिरेमिक फिल्टर की तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन संभव होता है।
- सामान्य जीवन चक्र डिस्पोजेबल पीटीएफई या पीवीडीएफ फिल्टर के 5-10× तक विस्तारित होता है, जिससे डाउनटाइम और स्वामित्व की कुल लागत कम हो जाती है।
4. रासायनिक अनुकूलता और संक्षारण प्रतिरोध
- 316एल स्टेनलेस स्टील क्लोराइड, फ्लोरीन, अमोनिया और अम्लीय गैस वातावरण में एक निष्क्रिय ऑक्साइड फिल्म बनाए रखता है।
- गैर-प्रतिक्रियाशील सतह धातु आयन निष्कर्षण या गैस संरचना परिवर्तन को रोकती है।
अनुप्रयोग
1. यूएचपी गैस वितरण लाइनें
- बल्क गैस डिलीवरी स्किड्स, गैस कैबिनेट और वीएमबी/वीएमपी पैनलों में स्थापित, गैस एमएफसी या प्रोसेस टूल में प्रवेश करने से पहले कणों को फ़िल्टर करता है।
- महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं को खिलाने वाले N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄, और अन्य उच्च शुद्धता वाली गैस लाइनों में उपयोग किया जाता है।
2. मास फ्लो कंट्रोलर (एमएफसी) इनलेट सुरक्षा
- सटीक द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रकों में कण संदूषण और वाल्व घिसाव को रोकता है।
- एमएफसी की दीर्घकालिक प्रवाह स्थिरता और अंशांकन स्थिरता में सुधार करता है।
3. प्रोसेस चैंबर और टूल गैस इनलेट्स
- सीवीडी, एएलडी, ईच और प्रसार भट्टियों में कण-मुक्त, नमी-मुक्त डिलीवरी सुनिश्चित करता है।
- SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃, और TEOS लाइनों में उपयोग किया जाता है जहां फिल्म की गुणवत्ता और उपज के लिए शुद्धता महत्वपूर्ण है।
4. स्पेशलिटी गैस और प्रीकर्सर सिस्टम
- धातु-कार्बनिक या हैलोजन-आधारित गैसों के लिए जहां रासायनिक जड़ता और तापमान स्थिरता महत्वपूर्ण है।
- संघनित कणों या बूंदों को पकड़ने के लिए अक्सर वेपोराइज़र या बब्बलर के बाद रखा जाता है।
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